水表网首页 欢迎来到智能水表网 ! 请登录 注册 免费咨询:0551-63447601
会员服务 手机站 微信 网站导航
您的位置:首页 > 新闻资讯

微电子所垂直纳米环栅器件研究获进展

  • 2021-5-28 8:49:27
  • 微电子研究所
  • watermeter

与目前主流的FinFET器件相比,纳米环栅器件(GAA)在可微缩性、高性能和低功耗方面更具优势,被认为是下一代集成电路关键核心技术。其中,垂直纳米环栅器件(VGAA)由于在垂直方向上具有更多的集成自由度,可增加栅极和源漏的设计空间,减少器件所占面积,更易实现多层器件间的垂直堆叠并通过全新的布线方式进一步增加集成密度,因此,成为2纳米及以下CMOS和高密度DRAM等逻辑及存储芯片制造技术方面具有潜力的基础器件。

中国科学院微电子研究所集成电路先导工艺研发中心研究员朱慧珑团队于2016年提出,并于2019年研发出自对准金属栅的垂直环栅纳米晶体管,相关成果发表在IEEE Electron Device Letters上(DOI: 10.1109/LED.2019.2954537)。此后,团队对原子层选择性刻蚀、阈值电压调节、沟道锗组分、硅化物工艺、可靠性和热预算等重要工艺进行持续研发和优化,获得了兼容主流CMOS工艺的器件集成技术和优异的电学性能,饱和电流提升了3-7。近日,相关研究成果发表在《电气和电子工程师协会电子器件学报》上,先导中心高级工程师张永奎为论文第一作者,朱慧珑为论文通讯作者。

研究工作得到中科院战略性先导科技专项(先导预研项目“3-1纳米集成电路新器件与先导工艺”)和中科院青年创新促进会等的资助。

【重要声明】此文仅为提供更多信息方便网民阅读目的,并不代表同意文章的说法或描述,也不构成任何建议,对本文有任何异议,请联系我们。

关于智能水表网
智能水表网,是中国水表行业成立最早、信息量最全、内容最丰富的一家,是水表行业自己的专业商务门户站,提供信息发布交流、产品交易的交互式平台,是联结水表行业企业与自来水公司、房产公司等的桥梁与 ...【详情】
网络实名:智能水表网 / IC卡水表网
地 址:合肥市马鞍山路金地国际城
电 话:0551-63447601
E-mail:water_meter@126.com
扫码咨询